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造成氧傳感器故障或失效的其中一個常見的原因是硅中毒。硅化合物存在于一些密封材料，潤滑劑中及防凍劑中的腐蝕抑制成分。如何判斷這種原因呢？主要還是看顏色，此時氧傳感器表面的沉積物呈現的顏色介于亮白色和顆粒狀的淺灰色之間。
氧傳感器積碳
無加熱棒的氧傳感器故障，通常是因為氧傳感器或陶瓷元件表面形成積碳，從而增加了氧傳感器的反映時間，并可能造成氧傳感器檢測氧氣功能的喪失。
氧傳感器磷中毒故障
在傳感器表面，磷很少以純磷狀態析出，而是以某種化合物狀態析出，這些磷化物污染氧傳感器的現象，專業術語稱為磷中毒。
氧傳感器陶瓷破碎
氧傳感器的陶瓷硬而脆，用硬物敲擊或用強烈氣流吹洗，都可能使其碎裂而失效。因此，處理時要很小心，一旦發現出現問題，一定要及時予以更換。
